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青岛晨立专业供应扩散炉、扩散炉炉体

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详细说明

    设备用途:用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。



设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。



主要技术指标:



★ 炉管数: 1~4管



★ 配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)



★ 恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃)



760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)



★ 单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃)



±0.5℃/24h (800~1280℃)



★ 气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器



★ 气体控制: 浮子/质量流量计



★ 悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min



*大行程:2000 mm



定位精度:±1 mm



*大载荷:17 Kg



★ 超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)



噪音: ≤62dB(A)



振动: ≤3μ

 
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